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纳米级超精密半导体卡盘

关键词: 纳米级超精密半导体卡盘 超精密

2024.09.08

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现有物理打磨技术,接触式加工,磨损基石,需要切削油, 加工后需要清洗,异形件打磨和局部打磨有难度。纳秒激光打磨有以下问题:产生细微裂纹,熔化-再凝固产生热变形, 表面物性发生变化, 周围会产生多个颗粒。飞秒激光打磨:改善现有打磨技术的问题 -热影响极小,可以局部打磨,异形件打磨,不需要化学药剂  -细微裂纹极少化  表面物理特性变化少,在不改变物性值的情况下,提高表面粗糙度。 高功率激光打磨:测量高度→获取高度数据→转换成面数据→去除表面凸起  中等功率,利用中等功率激光可以刻画  低功率时具有,清洗效果;抛光效果(也有去除微孔边缘毛刺的效果) 抛光后,[A O I(自动光学检查)]  对孔不良进行检测(手动或自动) (光学相机扫描仪)材料的边缘测量和修正材料位置误差。非常适合异形件打磨、抛光。局部打磨抛光。当精密加工已无法达到更好的形状精度、表面粗糙度与尺寸精度时,就会需要使用到超精密加工的技术。纳米级超精密半导体卡盘

超精密

微泰利用先进的飞秒激光螺旋钻孔系统和独有ELID(电解在线砂轮修正技术),飞秒激光抛光技术,生产各种超精密零部件。用于半导体加工真空板薄膜真空板倒装芯片工艺真空块MLCC贴合用真空板薄膜芯片粘接工具,镜头模组组装治具。用自主自主技术,飞秒激光螺旋钻孔系统,加工出来的微孔不同于连续波激光,纳秒激光,皮秒激光加工出来的微孔,平整,热变形和物理变形很小,可以做到,1.孔径至少为20微米2.能够加工MIN0.3微米孔距3.MLCC贴合真空板4.在一块真空板上,能够处理多达八十万个孔5.各种形状的孔6.同一截面的不规则孔7.可混合加工不规则尺寸的孔有问题请联系,上海安宇泰环保科技有限公司芯片超精密超细孔纳米级的超精密加工也称为纳米工艺(nano-technology) 。

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精密磨削技术-电解在线砂轮修整技术 (ELID)对于精密零件的加工生产,精密磨削技术是必不可少的。在半导体/LCD、MLCC 和新能源电池等领域中,精密元件的使用率很高。常见的磨削技术的问题是,必须根据磨削后的弓形磨损量继续修整,这给保持同等质量带来了困难,因为表面状况会发生细微变化。 简而言之,ELID 磨削技术是一种在不断修整的同时进行抛光的技术。微泰采用了高精度的磨削技术,这些技术都以 ELID 技术和专有技术为基础,在这种技术中,我们生产的产品具有高精度、平坦度和高质量,这是很难生产的。真空板ELID磨削技术ELID 磨削技术(真空板)。利用电解在线砂轮修整技术 (ELID),提高真空吸附板、刀片的表面粗糙度,减少研磨时的毛刺,减少手动调节提高作业自动化。400mm见方的真空板平面度可达5um。

微泰利用自主技术,飞秒激光螺旋钻孔系统和独有ELID(电解在线砂轮修正技术),飞秒激光抛光技术,飞秒激光切割技术,生产各种超精密零部件。夹持器方面,供应各种夹具,这些夹具在自动化过程中被普遍使用。主要用于相机模块生产过程中的镜头夹持器,并根据客户要求生产其他夹持器。镜头模组组装JIG,LED夹持器(PEEK),陶瓷端夹持器。微泰生产和供应多种喷嘴。从简单的拾取喷嘴到焊接球喷嘴。喷嘴被用于许多领域。 在高速喷射液体或气体时,油路末端的空洞管理是一个重要环节,有时会使用耐磨材料。 微泰生产和供应高质量/高耐磨的喷嘴,这些喷嘴可由多种材料制成,从不锈钢到碳化物、氧化锆和陶瓷等各种材料制成。应用于焊球喷嘴,提货喷嘴。纤维喷射喷嘴。超精密加工精细的品质,能大幅提升许多高科技工业的设计与技术,进而提升产品的竞争力。

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微泰利用激光制造和提供超精密产品。 凭借高效率、高质量的专有加工技术,我们专门用于加工 Φ0.2 度以下的超精密微孔,并采用了Φ0.005 mm 激光钻孔技术,使用飞秒激光器。 此外,我们还在不断地开发技术,以提供更小的微米级孔。激光加工不同于常规的 MCT 钻孔加工,在热处理后,孔的加工容易,因此即使在极强度/高硬度或热处理过的产品中,也能够获得恒定质量的孔,如 PCD、PCBN 和 Cerama。 我可以用多种材料制成,包括硬质合金、不锈钢、热处理钢和钼。营业于半导体真空卡盘、吸膜板、COF绑定TOOL,倒装芯片键合、MLCC叠层吸膜板,MLCC印刷吸膜板,吸附板。超精密加工的精度比传统的精密加工提高了一个以上的数量级。半导体超精密真空板

超激光精密打孔的特点是可以在硬度高、质地脆或者软的材料上打孔,孔径小、加工速度快、效率高。纳米级超精密半导体卡盘

微泰提供半导体精密元件精密制造和供应机械设备(包括半导体生产设备、生物电池、新能源电池、航空航天和罗机器人)所需的所有精密部件和模型。 根据客户的需求,提出改进功能的想法和设计,以及生产、质量控制和检测系统的高效集成基础设施、材料和部件。 通过与国内外设备制造商的合作,我们能够以高速度、高质量和有竞争力的优化成本提供客户满意的产品。尺寸:MCT 5 ~ 6.5 英寸。 CNC 6 ~ 10 英寸, 旋铣  材料:AL5052, AL6061, AL7075, SUS304, SUS316,SUS630, Copper, Tungsten, Titanium, Monel, POM,PEEK。半导体精密元件特性:保持严格的公差,因此零件的制造非常精确,并需要高加工能力,以便与指定公差的偏差小。 在整个加工过程中进行严格的质量控制,识别和纠正零件的规格和偏差,从而制造出高质量的精密零件。纳米级超精密半导体卡盘

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