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东莞水性光刻胶国产厂商

关键词：东莞水性光刻胶国产厂商光刻胶

2025.05.08

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广东吉田半导体材料有限公司多种光刻胶产品，各有特性与优势，适用于不同领域。

LCD 正性光刻胶 YK - 200：具有较大曝光、高分辨率、良好涂布和附着力的特点，重量 100g。适用于液晶显示领域的光刻工艺，能确保 LCD 生产过程中图形的精确转移和良好的涂布效果。

半导体正性光刻胶 YK - 300：具备耐热耐酸、耐溶剂性、绝缘阻抗和紧密性，重量 100g。主要用于半导体制造工艺，满足半导体器件对光刻胶在化学稳定性和电气性能方面的要求。

耐腐蚀负性光刻胶 JT - NF100：重量 1L，具有耐腐蚀的特性，适用于在有腐蚀风险的光刻工艺中，比如一些特殊环境下的半导体加工或电路板制造。光刻胶的显示面板领域。东莞水性光刻胶国产厂商

技术突破与产业重构的临界点

光刻胶技术的加速突破正在推动芯片制造行业进入“材料定义制程”的新阶段。中国在政策支持和资本推动下，已在KrF/ArF领域实现局部突破，但EUV等领域仍需5-10年才能实现替代。未来3-5年，EUV光刻胶研发、原材料国产化及客户认证进度将成为影响产业格局的主要变量。国际竞争将从单纯的技术比拼转向“专利布局+供应链韧性+生态协同”的综合较量，而中国能否在这场变革中占据先机，取决于对“卡脖子”环节的持续攻关和产业链的深度整合。

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主要优势：细分领域技术突破与产业链协同

技术积累与自主化能力

公司拥有23年光刻胶研发经验，实现了从树脂合成、光引发剂制备到配方优化的全流程自主化。例如，其纳米压印光刻胶通过自主开发的树脂体系，分辨率达3μm，适用于MEMS传感器、光学器件等领域，填补了国内空白。

技术壁垒：掌握光刻胶主要原材料（如树脂、光酸）的合成技术，部分原材料纯度达PPT级，金属离子含量低于0.1ppb，良率超99%。

产品多元化与技术化布局

产品线覆盖芯片光刻胶、纳米压印光刻胶、LCD光刻胶、半导体锡膏等，形成“光刻胶+配套材料”的完整体系。例如：

◦ LCD光刻胶：适配AMOLED、Micro LED等新型显示技术，与京东方、TCL华星合作开发高分辨率产品，良率提升至98%。

◦ 半导体锡膏：供应华为、OPPO等企业，年采购量超200吨，用于5G手机主板封装。

技术化延伸：计划2025年启动半导体用KrF光刻胶研发，目标进入中芯国际、长江存储供应链。

质量控制与生产能力

通过ISO9001:2008质量体系认证，生产环境执行8S管理，原材料采用美、德、日进口高质量材料。拥有全自动化生产线，年产能达2000吨（光刻胶及配套材料），支持大规模订单交付。

吉田半导体 YK-300 正性光刻胶：半导体芯片制造的材料

YK-300 正性光刻胶以高分辨率与耐蚀刻性，成为 45nm 及以上制程的理想选择。
YK-300 正性光刻胶分辨率达 0.35μm，线宽粗糙度（LWR）≤3nm，适用于半导体芯片前道工艺。其耐溶剂性与绝缘阻抗性能突出，在显影与蚀刻过程中保持图形稳定性。产品已通过中芯国际量产验证，良率达 98% 以上，生产过程执行 ISO9001 标准，帮助客户降低封装成本 20% 以上。支持小批量试产与定制化需求，为国产芯片制造提供稳定材料支撑。

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光刻胶的主要应用领域

光刻胶是微电子制造的主要材料，广泛应用于以下领域：

半导体制造

◦ 功能：在晶圆表面形成微细电路图案，作为蚀刻或离子注入的掩膜。

◦ 分类：

◦ 正性光刻胶：曝光区域溶解于显影液，形成与掩膜版一致的图案（主流，分辨率高）。

◦ 负性光刻胶：未曝光区域溶解，形成反向图案（用于早期工艺，耐蚀刻性强）。

◦ 技术演进：随制程精度提升，需匹配不同曝光波长（紫外UV、深紫外DUV、极紫外EUV），例如EUV光刻胶用于7nm以下制程。

平板显示（LCD/OLED）

◦ 彩色滤光片（CF）：在玻璃基板上制作红/绿/蓝像素单元，光刻胶用于图案化黑矩阵（BM）、彩色层（R/G/B）和保护层。

◦ 电极图案：制作TFT-LCD的电极线路或OLED的阴极/阳极，需高透光率和精细边缘控制。

印刷电路板（PCB）

◦ 线路蚀刻：在覆铜板上涂胶，曝光显影后保留线路区域，蚀刻去除未保护的铜箔，形成导电线路。

◦ 阻焊与字符层：阻焊胶覆盖非线路区域，防止短路；字符胶用于印刷电路板标识。

LED与功率器件

◦ 芯片制造：在蓝宝石/硅基板上制作电极和量子阱结构，需耐高功率环境的耐高温光刻胶。

◦ Micro-LED：微米级芯片转移和阵列化，依赖超高分辨率光刻胶（分辨率≤5μm）。

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工艺流程

• 目的：去除基板表面油污、颗粒，增强感光胶附着力。

• 方法：

◦ 化学清洗（硫酸/双氧水、去离子水）；

◦ 表面处理（硅基板用六甲基二硅氮烷HMDS疏水化，PCB基板用粗化处理）。

涂布（Coating）

• 方式：

◦ 旋涂：半导体/显示领域，厚度控制精确（纳米至微米级），转速500-5000rpm；

◦ 喷涂/辊涂：PCB/MEMS领域，适合大面积或厚胶（微米至百微米级，如负性胶可达100μm）。

• 关键参数：胶液黏度、涂布速度、基板温度（影响厚度均匀性）。

前烘（Soft Bake）

• 目的：挥发溶剂，固化胶膜，增强附着力和稳定性。

• 条件：

◦ 温度：60-120℃（正性胶通常更低，如90℃；负性胶可至100℃以上）；

◦ 时间：5-30分钟（根据胶厚调整，厚胶需更长时间）。

曝光（Exposure）

• 光源：

◦ 紫外光（UV）：G线（436nm）、I线（365nm）用于传统光刻（分辨率≥1μm）；

◦ 深紫外（DUV）：248nm（KrF）、193nm（ArF）用于半导体先进制程（分辨率至20nm）；

◦ 极紫外（EUV）：13.5nm，用于7nm以下制程（只能正性胶适用）。

• 曝光方式：

◦ 接触式/接近式：掩膜版与胶膜直接接触（PCB、MEMS，低成本但精度低）；

◦ 投影式：通过物镜聚焦（半导体，分辨率高，如ArF光刻机精度达22nm）。

东莞水性光刻胶国产厂商

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