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洁净室的主要作用是控制产品(如硅片等)所接触的大气的洁净室洁净度和温湿度，使产品能够在良好的环境空间中生产制造，从而我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化等级主要是根据空气中每立方米直径大于分类标准的颗粒数量来规定的。也就是说，所谓的无尘，并不是100%没有一点灰尘，而是控制在极少量的单位。当然，这个标准中符合粉尘标准的颗粒物，相对于我们常见的粉尘来说是非常小的，但是对于光学结构来说，哪怕是一点点的粉尘也会产生非常大的负面影响。洁净室的设计布局应便于检测和维护工作的开展。上海检测规范性强

洁净室在现代工业中早已被广泛应用于半导体生产、液晶萤幕生产、生化技术、生物技术、精密器械、制药、医院等行业之中，尤其以半导体晶圆制程对无尘等级的要求比较高，因为现今的晶圆已经发展到奈米级的水准，随便一粒灰尘掉落在晶圆上都可能造成整个晶圆线路的毁损，甚至导致这个晶圆必须报废。无尘室除了管控空气中的微尘粒子之外，还分成正压无尘室与负压无尘室。一般正压无尘室比较常见，就是让室内的空气压力大于室外的压力，这样才可以控制室内空气往外吹以杜绝外部的污染源。上海检测服务至上检测结果异常时，应组织团队进行复检和原因分析。

(1)净化处理原则：能用局部净化的场合，就尽可能不用净化；或低级别的净化高级别的局部净化相结合。避免把需要净化的环境分割成较小的空间，这样做虽然有利于控制污染，但这也造成平面复杂化、增加造价、作业程序不易改变、人员流动不方便，以及小房间造成人们心理上的不快。(2)由于气流分布的不均匀和尘粒分布等不均匀性，洁净室的微粒实际上是不均匀分布的，较为典型的三区不均匀分布模型，即分为主流区、涡流区和回风口区。主流区含区含尘浓度可比室平均浓度低30%到一半。建议把工艺布置在主流区内。(3)主要工艺可尽量布置于送风管上风段，上风段相对来说，洁净程度比下风段要好表2为某10万级洁净车间内沿一条送风管走向设置的六个测点检测结果(空态下)，测点l~6由上风段依次向下，可以看出，各点尘粒数有较大区别当然，其中也有送风管上各送风口风量没有较好调节的原因，但这种较大区别的可能还是不可忽视。

、温湿度标准规定：洁净区的温度和相对湿度与药品生产工艺要求相适应。无特殊要求时，洁净区温度为18℃～26℃，相对湿度控制在45%～65%。有特殊要求车间根据工艺控制。温度观察：检查温湿度计是否完整，视线正对温湿度计水平读取显示的数据，需要记录的应立即填入表格中。湿度观察：视线正对湿度表，准确读数。需记录的应立即填入表格中。需要加水的湿度计，在观察前应检查在蓄水腔内是否有水，无水则需加入适量水，再观察湿度。洁净区的温湿度每天至少记录两次，上午一次，下午一次。设备计量人员每年至少组织校验一次监控系统的仪器设备。定期进行洁净室维护，保持设备良好运行状态，延长使用寿命。

洁净室、洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气，以排替、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。为此，测定洁净室或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流流向及流型等项目十分必要。单向流主要是依靠洁净气流推挤、排替室内、区内的污染空气以维持室内、区内的洁净度。因此，其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数。较高的、较均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物，因此它们是主要关注的检测项目。洁净室内有通风柜时，宜置于工作区气流的下风侧，以减少对室内的污染。湖南排风柜检测

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洁净室或洁净设施温、湿度测定，通常分为两个档次：一般测试和综合测试。一个档次适用于处于空态的交竣验收测试，第二个档次适用于静态或动态的综合性能测试。这类测试适用于对温度、湿度性能要求比较严格的场合。本检测在气流均匀性检测之后和空调系统调整之后进行。进行这项检测时，空调系统已经充分运转，各项状况已经稳定。每个湿度区至少设置一个湿度传感器，并且给传感器充分的稳定时间。所做测量应适合实际使用的目的，待传感器稳定之后才开始测量，测量时间不少于5分钟。上海检测规范性强