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超高压汞灯紫外线灯UNL-13501

关键词: 超高压汞灯紫外线灯UNL-13501 紫外线灯

2023.03.02

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产品化无NOx产生的UV Lamp『智能准分子灯』作为臭氧发生动力(灯+电源)模块.臭氧存在与大气中,起到净化大气作用。大气中的氧气和太阳光中的紫外线反应或者雷的放电现象,自然生成。阳光充裕的海岸或森林,存在程度、制作出清爽的空气。臭氧的氧原子[O]3个结合后产物,化学式是[O3]。臭氧的氧原子比氧气原子多出1个的[O3]状态、余下的氧原子[O]给其它物质,引发返回稳定状态的氧分子现象。利用自然界发生的此性质,积极制作臭氧,进行脱臭,除菌,杀菌。尼康曝光设备点灯用13KW电源。超高压汞灯紫外线灯UNL-13501

半导体领域使用光刻机有5类:G线光刻机,使用高压汞灯作为光源,紫外线波长为436nm,产品分辨率500nm以上;I线光刻机,使用高压汞灯作为光源,紫外线波长为365nm,产品分辨率28nm以上;氟化氪(KrF)光刻机,使用氟化氪准分子激光(DUV)作为光源,紫外线波长为248nm,产品分辨率180nm;氟化氩光刻机,使用氟化氩准分子激光(DUV)作为光源,紫外线波长193nm;EUV光刻机,使用13.5nm极紫外线,产品分辨率,分辨率可达7nm;敝司代理光刻机使用的I线365nm高压汞灯紫外线。MERCURY LAMP紫外线灯UNL-12000B高压汞灯寿命是多少小时?

曝光机设备上配置椭圆镜,镜面有做涂层处理。椭圆镜作用是协助光源发出的紫外线波长(365nm,405nm,436nm)无法穿过椭圆镜的镜面,紫外线光反射回来,500nm以上的红外线透过椭圆镜的镜面,释放掉热量。灯箱内常时通入氮气,吹向冷却紫外线灯及椭圆镜,降低灯箱内氛围温度,通过常时排气,带着多余热量,是高压汞灯稳定工作。佳能面向FPD工厂的曝光机,设备型号:MPAsp-E813,MPAsp-H803,MPAsp-H763,内部标配椭圆镜,型号:Y60-5340-000。

工件台为光刻机的一个关键,由掩模样片整体运动台(XY)、掩模样片相对运动台(XY)、转动台、样片调平机构、样片调焦机构、承片台、掩模夹、抽拉掩模台组成。其中,样片调平机构包括球座和半球。调平过程中首先对球座和半球通上压力空气,再通过调焦手轮,使球座、半球、样片向上运动,使样片与掩模相靠而找平样片,然后对二位三通电磁阀将球座和半球切换为真空进行锁紧而保持调平状态。样片调焦机构由调焦手轮、杠杆机构和上升直线导轨等组成,调平上升过程初步调焦,调平完成锁紧球气浮后,样片和掩模之间会产生一定的间隙,因此必须进行微调焦。另一方面,调平完成进行对准,必须分离一定的对准间隙,也需要进行微调焦。抽拉掩模台主要用于快速上下片,由燕尾导轨、定位挡块和锁紧手轮组成。承片台和掩模夹是根据不同的样片和掩模尺寸而进行设计的。高压汞灯应用于光刻胶曝光。

ORC制造UV-LED照射装置

3种波长(365nm,385nm,405nm)可以单独照射,多波段混合LED照射装置。

製品仕様

灯具型式:LUV-L330-Mix2

照射範囲:W330.0(mm)D15.0(mm)

波長:365・385・405(nm)照射距離(WD)25(mm)

消費電力:(Max)1900(W)

Size:H125.7(mm)W482.0(mm)D230.0(mm)

重量:7.5(kg)

電源型式:LUV-L330-Mix2

調光方式:デジタル調光・定電流制御方式

出力容量:2600(W)

定格電源電圧:AC100~240(V)50/60Hz

アラーム機能:LED断線・温度上昇重量22.0(kg) OSRAM紫外线光源采购。日本进口紫外线灯UNL-13501

高压汞灯紫外线光的分光分布。超高压汞灯紫外线灯UNL-13501

超高圧水銀Lampは均一・平行光源として豊富な実績のあるマルチライトシリーズの基本構成はそのままに波長230nm~450nmのDeepUV領域に適化した光源ユニットです。リソグラフィー用途はもちろん、表面改質光源、各種光化学反応評価光源としても応用頂けます。光源:250W 超高圧UVランプ,露光エリア:φ135mm,波長領域:230nm~450nm,初期照度:16mW/cm2以上,照度均一度:±5%以内,本体外形寸法(mm):224(W)×521(D)×417(H),電源外形寸法(mm):180(W)×300(D)×360(H).超高压汞灯紫外线灯UNL-13501

上海秀虎国际贸易有限公司是一家集研发、生产、咨询、规划、销售、服务于一体的贸易型企业。公司成立于2014-08-28,多年来在超高压**灯,UV紫外线灯,曝光机点灯用电源,紫外线照度计行业形成了成熟、可靠的研发、生产体系。主要经营超高压**灯,UV紫外线灯,曝光机点灯用电源,紫外线照度计等产品服务,现在公司拥有一支经验丰富的研发设计团队,对于产品研发和生产要求极为严格,完全按照行业标准研发和生产。上海秀虎国际贸易有限公司每年将部分收入投入到超高压**灯,UV紫外线灯,曝光机点灯用电源,紫外线照度计产品开发工作中,也为公司的技术创新和人材培养起到了很好的推动作用。公司在长期的生产运营中形成了一套完善的科技激励政策,以激励在技术研发、产品改进等。上海秀虎国际贸易有限公司严格规范超高压**灯,UV紫外线灯,曝光机点灯用电源,紫外线照度计产品管理流程,确保公司产品质量的可控可靠。公司拥有销售/售后服务团队,分工明细,服务贴心,为广大用户提供满意的服务。

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