北京光学镀膜射频离子源制造生产

【真空镀膜机常见故障】:一、当正在镀膜室真空突然下降1.蒸发源水路胶圈损坏（更换胶圈）2.坩埚被打穿（更换坩埚）3.高压电极密封处被击穿（更换胶圈）4.工转动密封处胶圈损坏（更换胶圈）5.预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）6.高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）7.机械泵停机可能是继电器断开（检查继电器是否工作正常）8.烘烤引入线电极密封处被击穿（更换胶圈）9.挡板动密封处胶圈损坏（更换胶圈）10.玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂（更换玻璃）二、长期工作的镀膜机抽真空的时间很长且达不到工作真空、恢复真空、极限真空、保真空：1.蒸发室有很多粉尘（应清洗）2.扩散泵很久未换油（应清洗换油）3.前级泵反压强da太机械泵真空度太低（应清洗换油）4.各动密封胶圈损坏（更换胶圈）5.由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化（更换胶圈）6.蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏（更换胶圈）7.各引入座螺钉、螺母有无松动现象（重新压紧）8.高低预阀是否密封可靠（注油）真空镀膜机厂家排名。北京光学镀膜射频离子源制造生产

【如何减少真空镀膜的灰尘】1、使用的源材料要符合必要的纯度要求。2、样品取出后放置环境要注意清洁的问题。3、镀膜一段时间后，真空室内壁必须要清洁处理。4、清洗衬底材料，必须要做到严格合乎工艺要求。5、工作人员有专门的服装，操作要戴手套、脚套等。6、适当的增加环境的湿度，有利于降低周围环境的悬浮固体颗粒物。7、技术上明确允许的较da颗粒尺寸和单位面积颗粒物的数量的上限da致是多少。8、室内空气流动性低、地面干净，如果是裸露的水泥地，需要覆盖处理。墙壁、屋顶不能使用一般的灰质涂料粉刷。福建大直径射频离子源厂家真空镀膜机为什么会越来越慢？

【真空镀膜之磁控溅射】在阴极靶表面形成一正交电磁场，在此区电子密度高，进而提高离子密度，使得溅镀率提高(一个数量级)，溅射速度可达0.1—1um/min膜层附着力较蒸镀佳，是目前实用的镀膜技术之一。其它有偏压溅射、反应溅射、离子束溅射等镀膜技术溅镀机设备与工艺溅镀机由真空室，排气系统，溅射源和控制系统组成。溅射源又分为电源和溅射qiang（sputtergun）。磁控溅射qiang分为平面型和圆柱型，其中平面型分为矩型和圆型，靶材料利用率30-40%，圆柱型靶材料利用率>50%溅射电源分为：直流（DC）、射频（RF）、脉冲（pulse），直流：800-1000V（Max）导体用，须可灾弧。射频：13.56MHZ，非导体用。脉冲：泛用，新发展出

【真空镀膜机之辅助抽气系统】真空腔各部分有连接阀，用来连接各抽气泵浦。辅助抽气系统：排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三da部分组成。此排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。排气流程为：机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态，为扩散泵后继抽真空提供前提，之后当扩散泵抽真空腔的时候，机械泵又配合油扩散泵组成串联，以这样的方式完成抽气动作。真空镀膜机的生产厂家。

【真空镀膜机之电镀工艺】利用电解作用使零件表面附着一层金属膜的工艺，从而起到防止金属氧化，提高耐磨性、导电性、反光性、抗腐蚀性及增进美观等作用，不少硬币的外层亦为电镀。适用材料：多数金属可以进行电镀但是不同的金属具有不同等级的纯度和电镀效率。其中常见的有：锡，铬，镍，银，金和铑；2.常用于电镀的塑料为ABS。3.镍金属不可用于电镀接触皮肤的产品，因为镍对皮肤有刺激性且有毒性。工艺成本：无模具费用，但需要夹具对零件进行固定/时间成本取决于温度和金属种类/人力成本（中-高），取决于具体电镀件的种类，例如银器和珠宝的电镀就需要极高的熟练工人进行操作，因为其对外观和耐久性的要求很高环境影响:da量有毒物质会被用在电镀过程中，所以需要专业的分流和提取，以确保小的环境影响。真空镀膜机该如何维修。湖北大直径射频离子源专业生产

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射频中和器采用L型接法匹配：匹配速度快，效率高，点火更优。源头和中和器结构经常拆解部分的内六角进行电镀及消气处理，防止拆卸过程卡死，备件及耗品重复利用率高。射频电源及控制部分单独装配在一个电柜内，RF线缆做防辐射和泄漏处理，避免对通讯、控制信号的干扰，同时也做良好的散热处理。直流电源电压纹波做了二次滤波处理，高压输出的纹波小于50mV，离子源束流的稳定性和重复性较好，镀膜的产品的折射率更稳定。射频部分匹配采用了硬件反馈和软件提前记忆并预判的技术；直流引入快速灭弧技术，同时提高了射频和直流部分的稳定性，软件设置了自检和自诊断功能，即：使用前系统自检，使用中即时刷新，对非调整性输入的变化提前警报并告知客户做好预案。北京光学镀膜射频离子源制造生产

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