稳压电源紫外线灯13.5KW电源

オーク製作所

紫外線光量計(Made in japan)

用途:OLED,LED,PCB,IC，LCD工厂，封装工艺中密封框胶水的固化。

特长：紫外线光固化，低能耗，无污染，高效率。

配合光量计，测量365nm峰值波长紫外线灯照度大小。

型番:UV-351

規格:測定波長:310～385nm

測定照度範囲:0.1～100ｍW/cm²

測定光量範囲:1～19999mJ/cm²

繰り返し精度:±1.5%以内

標準構成:

①光量计本体UV-351

②减光filter

③纽扣锂电池

④螺丝刀₋

⑤螺丝刀＋

⑥操作说明书

⑦除尘布

⑧收纳箱 365nm紫外线照度计ORC本体型号UV-M03A，受光器型号：SN-35。稳压电源紫外线灯13.5KW电源

ORC紫外线照度计/光量计，型号：UV-08；可以实现曝光设备.UV传送装置照度.光亮同事测量①測定範囲310～385nm（峰值365nm）②光量測定ｍJ/cm2（１）測定範囲０．１～１９９９９．０ｍJ/cm2（２）表示範囲１～１９９９９ｍJ/cm2（３）光量超出１９９９９ｍJ/cm2，４個小数点和単位（ｍJ/cm2）点灭（１）測定範囲０．１～１００mW/cm2（２）照度超出１００mW/cm2，４個小数点和单位（mW/cm2）会点灭。调整精度：敝司UV标准器±1.5％；电源：单4电池2个或AC转换器；选择项目：UV-25，UV-42传感器，受光器线，通信线；本体尺寸：65(W)×110(D)×16mm(H),重量：160g；准分子紫外线灯ONL-12001有机发光显示面板，NIKON曝光设备点灯用13KW电源。

紫外线高压汞灯是气体放电灯的一种，利用两极弧光放电使汞蒸发，这对UV固化过程很有价值，因为许多光引发剂体系在此区域都有强烈的吸收，又叫UV固化灯。1 、光谱： 紫外线高压汞灯的波长，主要集中在 365mm 左右。2 、紫外光强度：主要指单位长度上的紫外线功率权。单位是 W/c㎡ ，单位长度功率越低，强度就差，反之则高。一般 UV 油墨涂料等要求 80W/CM 以上强度。3 、全长及发光体长：全长是指灯管两端的总长，发光长是指 UV 灯管两极之间的距离，又称极距。4 、光固化：光固化是指 UV 油墨或 UV 涂料等，在紫外线的有效照射下发生的一定的光化学反应，从而使固化物成液态，固化成膜，这个过程称为光固化。

a.接触式曝光（Contact Printing）：掩膜板直接与光刻胶层接触。曝光出来的图形与掩膜板上的图形分辨率相当，设备简单。接触式，根据施加力量的方式不同又分为：软接触，硬接触和真空接触。1.软接触 就是把基片通过托盘吸附住（类似于匀胶机的基片放置方式），掩膜盖在基片上面；2.硬接触 是将基片通过一个气压（氮气），往上顶，使之与掩膜接触；3.真空接触 是在掩膜和基片中间抽气，使之更加好的贴合（想一想把被子抽真空放置的方式）软紫外线能量单位是毫焦mj？

光刻机的主要性能指标有：支持基片的尺寸范围，分辨率、对准精度、曝光方式、光源波长、光强均匀性、生产效率等。分辨率是对光刻工艺加工可以达到的纳米级细线条精度的一种描述方式。光刻的分辨率受受光源衍射的限制,所以与光源、光刻系统、光刻胶和工艺等各方面的限制。对准精度是在多层曝光时层间图案的定位精度。曝光方式分为接触接近式、投影式和直写式。曝光光源波长分为紫外、深紫外和极紫外区域，光源有高压汞灯，准分子激光器等。385nm波长紫外线灯供应。高压汞灯紫外线灯5KW电源

尼康曝光设备点灯用13KW电源。稳压电源紫外线灯13.5KW电源

工件台为光刻机的一个关键，由掩模样片整体运动台（XY）、掩模样片相对运动台（XY）、转动台、样片调平机构、样片调焦机构、承片台、掩模夹、抽拉掩模台组成。其中，样片调平机构包括球座和半球。调平过程中首先对球座和半球通上压力空气，再通过调焦手轮，使球座、半球、样片向上运动，使样片与掩模相靠而找平样片，然后对二位三通电磁阀将球座和半球切换为真空进行锁紧而保持调平状态。样片调焦机构由调焦手轮、杠杆机构和上升直线导轨等组成，调平上升过程初步调焦，调平完成锁紧球气浮后，样片和掩模之间会产生一定的间隙，因此必须进行微调焦。另一方面，调平完成进行对准，必须分离一定的对准间隙，也需要进行微调焦。抽拉掩模台主要用于快速上下片，由燕尾导轨、定位挡块和锁紧手轮组成。承片台和掩模夹是根据不同的样片和掩模尺寸而进行设计的。稳压电源紫外线灯13.5KW电源

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