广西离子束辅助沉积射频离子源怎么选
关键词: 广西离子束辅助沉积射频离子源怎么选 射频离子源
2023.09.14
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本发明的优点在于:本申请的束径约束器通过驱动组件驱动滑环旋转,以使叶片转动来进行光阑的大小调节,调节方便且调节精度高;而采用包含该束径约束器的束径控制装置进行束径调节时,通过在控制器上输入离子束束径值即可实现光阑大小的调节,无需关闭离子源和打开真空腔体,调节效率高、自动化程度好。附图说明图1为现有技术中采用曲面栅网调节束径的结构示意图。图2为本申请中离子束采用平面栅网的结构示意图。图3为本申请中束径约束器结构示意图。图4为图3的示意图。图5为为图4的进一步示意图。图6为本申请中的叶片结构示意图。图7为本申请中的束径控制装置的示意图。具体实施方式下面详细描述本发明的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,*用于解释本发明,而不能理解为对本发明的限制。如图3至6所示为本申请的束径约束器的结构示意图,如图所示,该射频离子源离子束束径约束器,包括底座1、多个叶片2及驱动机构,底座1上设置有可供离子束穿过的中空结构11,多个叶片2设于底座1一端并环绕底座1的中空结构11呈圆周排布。真空镀膜机大概多少钱一台?广西离子束辅助沉积射频离子源怎么选
【真空镀膜的分类】真空镀膜的镀层结构一般为:基材、底漆、真空膜层、面漆,因靶材理化特性直接决定膜层的特性,根据膜层的导电与否,可分为导电真空镀膜(VM)和不导电真空镀膜(NCVM)两种。VM:一般用在化妆品类、NB类、3C类、汽配类按键、装饰框、按键RING类饰品的表面处理,其表面效果与水电镀相媲美,靶材一般为铝、铜、锡、金、银等。NCVM:具有金属质感、透明,但不导电,一般用在通讯类、3C类对抗扰要较高的机壳、装饰框、按键件、RING类饰品的表面处理,其表面效果为水电镀不可取代,靶材一般为铟、铟锡。三、扩散泵连续使用6个月以上,抽的速度会显然变慢,当操作不当应拆去联结水管,卸下电炉盘,将一级喷嘴拧出,先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍,再用洗衣粉兑水清洗一遍,然后用清水彻底清洗干净,待水份挥发干以后,装好泵胆,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。在重新开机前,要注意检漏工作。湖南离子束溅射射频离子源射频离子源可用于制备纳米材料、薄膜、光学器件等高科技产品。
【真空镀膜之材料表面处理】表面处理:是在基体材料表面上人工形成一层与基体的机械、物理和化学性能不同的表层的工艺方法。表面处理的目的是满足产品的耐蚀性、耐磨性、装饰或其他特种功能要求。我们比较常用的表面处理方法是,机械打磨,化学处理,表面热处理,喷涂表面,表面处理就是对工件表面进行清洁、清扫、去毛刺、去油污、去氧化皮等。常用表面处理的工艺有:真空电镀、电镀工艺、阳极氧化、电解抛光、移印工艺、镀锌工艺、粉末喷涂、水转印、丝网印刷、电泳等。
【真空镀膜之阳极氧化】阳极氧化:主要是铝的阳极氧化,是利用电化学原理,在铝和铝合金的表面生成一层Al2O3(氧化铝)膜。这层氧化膜具有防护性、装饰性、绝缘性、耐磨性等特殊特性适用材料:铝、铝合金等铝制品工艺成本:生产过程中,水、电的消耗是相当da的,特别是在氧化工序。机器本身的热耗,需要不停地用循环水进行降温,吨电耗往往在1000度左右。环境影响:阳极氧化在能效方面不算出色,同时在铝电解生产中,阳极效应还会产生对da气臭氧层造成破坏性副作用的气体。真空镀膜机常见故障及解决方法。
【真空镀膜机操作工艺流程】首先开水、电、气→总电源→开维持泵→开扩散泵加热→开粗抽泵→开预抽阀→关预抽阀→开粗抽阀→开罗茨泵→如有离子轰击,开轰击30秒,关轰击→开真空计→当真空到,关粗抽阀→开前置阀→开精抽阀,当真空达到7x10-3pa,开转架→开始镀膜操作→镀膜完毕后,关闭真空计、离子源→关精抽阀,前置阀→关罗茨泵→开抽气阀,取件→上料,反复开始操作。特别注意:1.设备停用时,镀膜室要保持真空状态,减少内表面气体的吸附,防止氧化。2.冷却水通道场下才能对扩散泵进行加热,未经充分冷却的泵不得与da气接触,防止氧化。3.要保证机器内扩散泵和机械泵的油定期检查和更换。4.设备运行中遇有停电或其它事故发生,须先停扩散泵,关精抽阀,前置阀和真空计。5.产品做完下班后,关了扩散泵后须待温度降低至60℃后才能关维持泵。真空镀膜机的工作原理。贵州光学薄膜射频离子源怎么选
真空镀膜机真空四个阶段。广西离子束辅助沉积射频离子源怎么选
【真空镀膜机镀塑料件时抽真空时间过长是什么原因?】(1)真空室有漏气现象:da家都知道,真空蒸发镀膜机是的基本条件是工件在真空状态下才能进行镀膜加工的,若真空室有漏气现象而没有经过检漏找出漏气位置,则真空镀很长时间都不能抽得上来的;(2)即使真空室没有漏气,因为塑料产品的放气量da,所以抽真空,特别是高真空很难达到。真空室内太脏放气,而且由于塑料产品的放气,造成真空室内镀膜气体的不纯,有杂气的存在,造成镀膜产品的颜色发暗,发黄,发黑等。(3)也许是真空机组的抽气能力不够了,油被污染或氧化了。(4)真空室有漏水。(5)抽空管道有漏气。广西离子束辅助沉积射频离子源怎么选
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