江苏射频离子源怎么选

【射频离子源简介】：国泰真空射频离子源GTRF-17和GTRF-23，主要用于IR-Cut、滤光片等精密光学镀膜的离子束辅助沉积和离子束清洗等，是公司技术团队全自主研发近3年时间研发出的国产射频离子源，属于国内大直径射频离子源。打破了国外制造商长期对国产镀膜行业的技术封锁，同时也激励了国内的同行制造业。离子源设备能促进光电产业升级，在国内也是一项“卡脖子”技术。具有能量高、热辐射低、工作时间长、对膜层污染小、能量分布均匀性好、适应多种工作气体的特点。真空镀膜机的生产厂家。江苏射频离子源怎么选

【真空镀膜设备之真空的获得】：真空泵：真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广fan用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。A、粗真空泵（RoughVacuumPump）：一般用于抽粗真空，有油泵和干泵。从结构上可分几种：旋转叶片泵：油泵，极限真空可达10&3Torr，抽速1~650CFM隔膜泵：干泵，极限真空1Torr左右，抽速<10CFM往复式活塞泵：干泵，极限真空10&2Torr，抽速6~32CFM涡旋式真空泵：干泵，极限真空10&2Torr，抽速12~25CFM螺旋泵：干泵，极限真空10&3Torr，抽速30~318CFM安徽大直径射频离子源源头实力厂家真空镀膜机常见故障及解决方法。

直流电源电压纹波做了二次滤波处理，高压输出的纹波小于50mV，离子源束流的稳定性和重复性较好，镀膜的产品的折射率更稳定。国泰真空射频离子源采用通用的LC高频谐振原理，使用可调电容快速调谐，使整个负载阻抗匹配到50Ώ，从而使功率输出比较大，电离化效率比较高，调谐马达采用步进电机转位+编码器快速定位，并带锁止和记忆功能，以满足负载在不同的真空环境、不同国泰射频离子源采用通用的LC高频谐振原理，使用可调电容快速调谐，使整个负载阻抗匹配到50Ώ，从而使功率输出比较大，电离化效率比较高，调谐马达采用步进电机转位+编码器快速定位，并带锁止和记忆功能，以满足负载在不同的真空环境、不同阻抗快速点火。

【真空镀膜机详细资料】系统概述真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。常用于对半导体、光伏、电子、精密光学等行业的纳米级表面处理。系统原理通过电子枪发射高压电子轰击坩埚中的待镀靶材，使其在高真空下蒸发并沉积在被镀基片上以获得镀膜。系统配置*自动化控制器:e-ControlPLC，是控制系统的硬件平台。人机界面硬件:TPC1503工业级15寸触摸式平板电脑，稳定可靠。人机界面软件:NETSCADA组态软件开发平台，提供真空镀膜机的控制和监视。真空镀膜机故障解决方法？

【真空镀膜设备的正常工作条件】1、环境温度：10~30℃2、相对湿度：不da于70%3、冷却水进水温度：不高于25℃4、冷却水质：城市自来水或质量相当的水5、供电电压：380V，三相50Hz或220V，单相50Hz（由所用电器需要而定），电压波动范围342~399V或198V~231V，频率波动范围49~51Hz；6、设备所需的压缩空气、液氮、冷热水等压力、温度、消耗量均应在产品使用说明书上写明。7、设备周围环境整洁、空气清洁，不应有可引起电器及其他金属件表面腐蚀或引起金属间导电的尘埃或气体存在。此外，真空镀膜设备所在实验室或车间应保持清洁卫生。地面为水磨石或木质涂漆地面、无尘埃。为防止机械泵工作时排出的气体对实验室环境的污染，可采用在泵的排气口上面装设排气管道（金属、橡胶管）的办法，将气体排出室外。成都真空镀膜机的生产厂家。北京光学镀膜射频离子源生产厂家

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    本发明的另一目的在于提供一种便于进行束径调节的束径控制装置。本发明的另一目的还在于提供一种束径控制方法。为了实现上述目的，本发明的技术方案为：一种射频离子源离子束束径约束器，其特征在于：所述束径约束器包括具有可供离子束穿过的中空结构的底座、多个叶片及驱动机构；所述多个叶片设于底座一端并环绕中空结构呈圆周排布，多个叶片的尾端伸入中空结构所在区域以围合形成可供离子束穿过的光阑，所述驱动机构可驱动叶片的尾端相对叶片排布形成的圆周中心运动以调节光阑大小。进一步的，所述叶片的首端与底座的对应端面转动连接，所述叶片的尾端沿叶片排布形成的圆周周向依次叠放并斜向伸入所述中空结构所在区域以形成所述光阑；所述驱动机构包括滑环及驱动滑环绕滑环中心旋转的驱动组件，所述滑环位于多个叶片的远离底座的一侧并与多个叶片排布形成的圆周同轴设置，滑环旋转时带动叶片的尾端绕叶片的首端转动以实现光阑大小调节。进一步的，所述叶片呈与多个叶片排布形成的圆周同向弯曲的圆弧状。进一步的，所述底座的所述一端端面上设有多个呈圆周布置的定位孔，所述叶片的首端靠近底座的一侧面上设有可伸入定位孔中转动的固定轴。进一步的。江苏射频离子源怎么选