广州晶片湿法碱抛设备

湿法设备HJT工艺功能是去除切割损伤层和表面脏污l使用强碱腐蚀晶体硅表面形成规则金字塔状绒面，增加硅片对太阳光的吸收，降低反射率l增加硅片表面积，进而PN结面积也相应增加。设备优势是进口PLC控制，兼容MES，UPS和RFID功能。机械手分配合理，有效避免药液交叉污染和槽体反应超时。工艺槽采用经典的内外槽的循环模式，能快速有效的将新添加药水以及添加剂充分搅拌均匀，槽内控温精度误差＜±1℃。所有与液体接触的材料均采用进口材质，避免材料杂质析出；引进半导体清洗工艺，保证硅片表面的洁净度。斜拉式慢提拉结构，有效提升脱水能力，匹配高效电池发展趋势。采用低温烘干技术，保证槽内的洁净度和温度均匀性。电池湿法制绒清洗设备（XBC工艺）可配套无金属化制程设备，提高设备洁净度。广州晶片湿法碱抛设备

电池湿法设备Topcon工艺，抛清洗设备，功能是去除背面BSG和抛光处理。l闭环运动控制系统，保证输送机构运动平稳性。l抛光槽：上表面采用水膜保护及辊轮带液方式，完整的保护正面的同时，对背面作抛光处理。l烘干槽：采用高压风机+高效过滤器的方式，l链式去BSG+槽式碱抛设备，设备产能大，稳定性好。l进口PLC控制，稳步提升设备的产能。l慢提拉采用机械臂慢提方式，设备满足干湿分离，匹配高效电池发展趋势。l可配套无金属化制程设备，提高设备洁净度。l工艺槽采用经典的内外槽的循环模式，能快速有效的将新添加药水以及添加剂充分搅拌均匀，槽内控温精度误差＜±1℃。广州半导体湿法设备湿法制绒设备能快速有效的将新添加药水以及添加剂充分搅拌均匀。

电池湿法设备XBC工艺背抛清洗设备，功能l硅片抛光处理。优势：进口PLC控制，稳步提升设备的产能。l慢提拉采用机械臂慢提方式，设备满足干湿分离，匹配高效电池发展趋势。l可配套无金属化制程设备，提高设备洁净度。l工艺槽采用经典的内外槽的循环模式，能快速有效的将新添加药水以及添加剂充分搅拌均匀，槽内控温精度误差＜±1℃。l去除切割损伤层和表面脏污l使用强碱腐蚀晶体硅表面形成规则金字塔状绒面，增加硅片对太阳光的吸收，降低反射率l增加硅片表面积，进而PN结面积也相应增加。

光伏电池湿法设备Topcon工艺，使用强碱腐蚀在硅片背面抛光形成近似镜面的绒面结构，提高硅片对长波的吸收2.增加背钝化膜的膜厚均匀性3.降低了背面的表面积，提升了少子寿命，降低背面复合速率。进口PLC控制，稳步提升设备的产能。l慢提拉采用机械臂慢提方式，设备满足干湿分离，匹配高效电池发展趋势。l可配套无金属化制程设备，提高设备洁净度。工艺槽采用经典的内外槽的循环模式，能快速有效的将新添加药水以及添加剂充分搅拌均匀，槽内控温精度误差＜±1℃。湿法刻蚀设备（Perc 工艺）进口PLC控制，稳步提升设备的产能。

光伏电池湿法设备Topcon工艺，抛清洗设备，功能是去除背面BSG和抛光处理。l闭环运动控制系统，保证输送机构运动平稳性。l抛光槽：上表面采用水膜保护及辊轮带液方式，完整的保护正面的同时，对背面作抛光处理。l烘干槽：采用高压风机+高效过滤器的方式，l链式去BSG+槽式碱抛设备，设备产能大，稳定性好。l进口PLC控制，稳步提升设备的产能。l慢提拉采用机械臂慢提方式，设备满足干湿分离，匹配高效电池发展趋势。l可配套无金属化制程设备，提高设备洁净度。l工艺槽采用经典的内外槽的循环模式，能快速有效的将新添加药水以及添加剂充分搅拌均匀，槽内控温精度误差＜±1℃。太阳能光伏电池湿法制绒设备使用强碱腐蚀晶体硅表面形成规则金字塔状绒面，增加硅片对太阳光的吸收。郑州半导体湿法设备报价

电池湿法RCA槽式清洗设备可以去除多晶硅沉积的正面(LPCVD)PECVD绕镀层。广州晶片湿法碱抛设备

光伏电池湿法制绒设备，与多种主流工艺如PERC、TOPCON、HPBC等相匹配，在设备结构、功能、产能和安全性等方面进行了全方面升级。其中心作用是对太阳能电池用硅片进行清洗制绒处理，从而提升电池的质量和效率。釜川以半导体生产设备、太阳能电池生产设备为主要产品，打造光伏设备一体化服务。拥有强大的科研团队，凭借技术竞争力，在清洗制绒设备、PECVD设备、PVD设备、电镀铜设备等方面都有独特优势；以高效加工制造、快速终端交付的能力，为客户提供整线工艺设备的交付服务。广州晶片湿法碱抛设备