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半导体超精密晶圆卡盘

关键词: 半导体超精密晶圆卡盘 超精密

2024.06.29

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微泰,利用自主自主技术,飞秒激光螺旋钻孔系统和独有ELID(电解在线砂轮修正技术),飞秒激光抛光技术,生产各种超精密零部件。有三星电子,LG电子等诸多企业的业绩。摄像头模组的拾取工具,治具。特别是超薄,超锋利的镜头切割器,光滑无毛边地切割塑料镜片的浇口,占韩国塑料镜头切割刀片90%以上的市场,精密要求极高的摄像机传感器与IC、PCB进行热压接合用治具,也占韩国90%以上市场。有问题请联系  上海安宇泰环保科技有限公司总代理通常,按加工精度划分,机械加工可分为一般加工、精密加工、超精密加工三个阶段。半导体超精密晶圆卡盘

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我公司利用自主技术,飞秒激光螺旋钻孔技术,可以在各种金属,陶瓷,蓝宝石,超硬材料,PCD上加工各种形状的微孔,MIN可加工5微米的孔,MIN孔距可做到0.3微米,而且可以对孔壁进行抛光,使之孔壁光滑。飞秒激光不同于纳秒激光,微孔平整,热变形和物理变形很小。这是纳秒激光加工件,这是飞秒激光加工件。我公司飞秒激光螺旋钻孔技术为电子,光学,机械,化学,医疗等不同行业的高精度微孔需求,提供高精度加工服务。上海安宇泰环保科技有限公司,利用韩国先进技术,飞秒激光螺旋钻孔系统和独有ELID(电解在线砂轮修正技术),飞秒激光抛光技术,生产各种超精密零部件。MLCC方面有三星电机,日本村田等很多企业的业绩,是韩国三星主要供应商。主要生产:1,MLCC吸膜板,2,各种MLCC刀具,刀片。3,MLCC掩模板 阵列遮罩板 。4,测包机分度盘。5,各种MLCC设备精密零件。MLCC吸膜板,用于在 MLCC 叠层机和印刷机上,通过抽真空移动 0.8 微米的生陶瓷片。MLCC吸膜板与MLCC切割刀片在韩国,技术和质量方面有压倒性优势,有问题请联系  上海安宇泰环保科技有限公司自动化超精密气体流量阀激光超精密加工的对象范围很宽,包括几乎所有的金属材料和非金属材料,适于材料的打孔、焊接、表面改性等。

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利用自主自主技术,飞秒激光螺旋钻孔系统和独有ELID(电解在线砂轮修正技术),飞秒激光抛光技术,生产各种超精密零部件。MLCC方面有三星电机等很多中外企业的业绩,主要生产:1,MLCC贴合真空板,2,各种MLCC刀具,刀片。3,MLCC掩模板阵列遮罩板。4,MLCC索引表。5,各种MLCC设备精密零件。MLCC贴合真空板,用于在MLCC堆叠机中,通过抽真空移动0.8微米的生陶瓷片。真空板可以做到。1.孔径至少为20微米。2.能够加工MIN0.3微米孔距。3.MLCC贴合真空板上,能够处理多达八十万个孔。5.各种形状的孔。6.同一截面的不规则孔。7.可混合加工不规则尺寸的孔。MLCC刀具方面,生产MLCC垂直刀片,MLCC轮刀,MLCC修剪刀片,其特点是1,刀刃锋利。2,与现有产品相比,耐用性提高了50%。材料采用超细碳化钨,具有1,高耐磨性。2,耐碎裂。MLCC生产工艺用轮刀,原材料是碳化钨。应用于MLCC制造时用于切割陶瓷和电极片。并自主开发了滚轮非接触式薄膜切割方法,其特点是。1,通过减少轮刀负载,延长使用寿命15到20倍。2,通过防止未裁切和减少异物来提高质量(防止碎裂)。3,轮刀上下位置可调。4,根据气压实时控制张力,提高生产力(无需设定时间)5,降低维护成本(无张力变化)

微泰,利用自主自主技术,飞秒激光螺旋钻孔系统和独有ELID(电解在线砂轮修正技术),飞秒激光抛光技术,生产各种超精密零部件。有三星电子,三星电机等诸多企业的业绩,四百四十毫米平面方板,平坦度可以做到5微米以下,表面粗糙度RA达0.01微米以下,可以钻20微米的孔,圆度可以达到95%以上,可以加工不同形状和尺寸的微孔,MAX可处理八十万个微孔,刀具方面,刀锋可以加工到0.2微米厚度,刀片对称度到达3微米以下,刀片边缘线性低于5微米以下。我们特别专注于生产需要高难度、高公叉、高几何公叉的产品,超精密零件,包括耗散零件、喷嘴、索引表和夹钳,以及用于 MLCC 和半导体领域的各种精密零件,真空板。 可以加工和制造各种材料,包括不锈钢、硬质合金、氧化锆和陶瓷,刀具,刀片,超高精密治具,镜头切割器和刀具C L切割器、TCB 拾取工具、折叠芯片模具、摄像头模组的拾取工具,治具。特别是超薄,超锋利的镜头切割器,光滑无毛边地切割塑料镜片的浇口,占韩国塑料镜头切割刀具90%以上的市场,精密要求极高的摄像机传感器与IC、PCB进行热压接合用治具,也占韩国90%以上市场。有问题请联系  上海安宇泰环保科技有限公司总代理激光超精密加工技术领域,全球有多家厂商参与竞争并提供各种不同类型的设备。主要厂商集中在亚洲、德国等。

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微泰凭借 30 年的精密加工技术和锐利刀具的边缘技术,利用激光的微孔加工技术,生产了客户所需的各种产品。除了零件,我们还生产和供应需要装配的部件。与液晶面板( LCD) 这样的大尺寸元件相比,微泰更倾向于半导体/MLCC/新能源电池等更小、更精密的领域,并且在尚未成功国产化的元件的国产化方面也取得了很大成就。 从塑料树脂系列开始,我们生产和供应的材料几乎与客户提供的所有图纸相符,包括不锈钢、碳化钨、陶瓷和 MMC 材料,没有限制。应用于多个部件其他半导体/高水平平面度的金属板、由微孔构成的金属板、超精密加工件、多数部件组成的设备配件、组装件、半导体/MLCC / 电池行业所需超精密元件。真空卡盘,晶圆卡盘、模组组装治具。倒装芯片键合TOOL。超精密激光加工钻孔也可以在电子产品表面,也可用于手机扬声器、麦克风及其他玻璃上的钻孔。高效超精密研磨

激光超精密加工可分为四类应用,分别是精密切割、精密焊接、精密打孔和表面处理。半导体超精密晶圆卡盘

现有物理打磨技术,接触式加工,磨损基石,需要切削油, 加工后需要清洗,异形件打磨和局部打磨有难度。纳秒激光打磨有以下问题:产生细微裂纹,熔化-再凝固产生热变形, 表面物性发生变化, 周围会产生多个颗粒。飞秒激光打磨:改善现有打磨技术的问题 -热影响极小,可以局部打磨,异形件打磨,不需要化学药剂  -细微裂纹极少化  表面物理特性变化少,在不改变物性值的情况下,提高表面粗糙度。 高功率激光打磨:测量高度→获取高度数据→转换成面数据→去除表面凸起  中等功率,利用中等功率激光可以刻画  低功率时具有,清洗效果;抛光效果(也有去除微孔边缘毛刺的效果) 抛光后,[A O I(自动光学检查)]  对孔不良进行检测(手动或自动) (光学相机扫描仪)材料的边缘测量和修正材料位置误差。非常适合异形件打磨、抛光。局部打磨抛光。半导体超精密晶圆卡盘

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