浙江洁净室无尘室检测评估

7.3.1洁净厂房中的净化空调系统可分为集中式净化空调系统和分散式净化空调系统。净化空调系统的型式应根据洁净厂房的规模、空气洁净度等级和产品生产工艺特点确定。洁净室（区)面积较小或只有局部要求净化时，宜采用分散式净化空调系统。7.3.2洁净厂房的洁净室（区)送风方式可分为集中送风、隧道送风、风机过滤器机组送风等。应根据洁净室（区）使用功能和降低能量消耗的要求，经技术经济比较，采用运行经济、节约能源的送风方式。无尘室是指可以将环境因素控制在规定数值内的空间，称之为无尘室。浙江洁净室无尘室检测评估

9.2.1纯水系统的设备配置除应满足所需水量和水质的要求外，还应满足运行灵活、安全可靠、便于操作管理、运行费用低等要求。9.2.2纯水的制备、储存和输送设备,应符合电子产品生产工艺的要求,并应符合下列规定:1纯水的制备、终端处理设备的选型和制造材料的选择,应满足供水水质、终端水质的要求;2纯水储罐、输送设备的选型和制造材料的选择,应确保水 质污染少、密封性好,不得有渗气现象;3纯水制备、储存、输送设备应有效地防止水质降低。浙江静电无尘室检测范围无尘室极主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度。

1一级防静电工作区的地面、墙面和柱面应采用导静电型。导静电型地面、墙面、柱面的表面电阻、对地电阻应为2.5X10↵~1X10°2,摩擦起电电压不应大于100V,静电半衰期不应大于0.1s;2二级防静电工作区的地面、墙面、柱面、顶棚、门和软帘应采用静电耗散型。静电耗散型地面、墙面、柱面和顶棚、门的表面电阻、对地电阻应为1X10°~1X109Ω,摩擦起电电压不应大于200V,静电半衰期不应大于1s,但软帘的摩擦起电电压不应大于300V;3三级防静电工作区的地面、墙面和柱面宜根据生产工艺要求采用静电耗散型材料或低起电材料,顶棚、门等宜采用低起电材料。选用静电耗散型材料的地面、墙面和柱面,应符合本条第2 款的要求;选用低起电材料的地面、墙面、柱面、顶棚、门等的摩擦起电电压不应大于1000V。

10.1.1洁净厂房内应根据生产的需求使用各种不同类型的特种气体、常用气体、干燥压缩空气，其气体品质应满足生产工艺要求。10.1.2常用气体的供气方式和供气系统，应根据气体用量、气体品质和当地的供气状况等因素，经技术经济比较后确定。10.1.3洁净厂房常用气体、特种气体的制备、储存、分配系统，除应符合本规范外，还应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016、《氢气站设计规范》GB50177和《氧气站设计规范》GB50030等的有关规定。10.1.4洁净厂房内的气体管道的干管，应敷设在技术夹层或技术夹道内。当与水、电管线共架时，比空气重的气体管道宜设在水、电管线下部，比空气轻的气体管道宜设在水、电管线上部。洁净厂房中以垂直构件分隔构成的廊道,用于安装辅助设备和公用动力设施以及管线等。

6.3.1管道安装前应进行以下准备工作：1配管下料时应采用“等离子切割”或**切割锯、割管刀等工具，不应采用氧-乙炔焰切割，不得涂抹油脂或润滑剂。2管道切口应与管轴线垂直，切口表面应平整、无裂纹，应去除毛刺。3在主管道上连接支管或部件时，宜用成品连接件。4普通不锈钢管应在工厂的清洗槽中用酸洗液清洗后再用清水冲洗干净。5氧气管道及附件，安装前应按相关规定方法进行脱脂，脱脂应在远离洁净室的地点进行，并做好操作人员的安全与环境保护工作。将产品生产过程与操作人员、污染物进行严格分隔的隔离空间。半导体净化车间无尘室检测第三方检测机构

无尘室是现代科技发展中的重要支撑，为各个领域的创新和进步提供了稳固的基础。浙江洁净室无尘室检测评估

2.4.1洁净厂房的自动控制系统宜采用集散式网络结构，并应具有稳定、可靠、节能、开放和可扩展性。12.4.2洁净厂房应对净化空调、供热、供冷、纯水和气体供应等系统进行自动监控。12.4.3洁净室（区）内外的压差监测，宜采用压差变送器通过控制系统调节洁净室（区）的送风量或回风量。12.4.4净化空调系统采用电加热器时，电加热器与风机应联锁控制，并应设置无风、超温断电保护；当采用电加湿器时，应设置无水、无风断电保护。12.4.5在满足生产工艺要求的前提下，宜对风机、水泵等动力设备采取变频调速等节能控制措施。浙江洁净室无尘室检测评估