半导体热红外显微镜方案

热红外显微镜与光学显微镜虽同属微观观测工具，但在原理、功能与应用场景上存在明显差异，尤其在失效分析等专业领域各有侧重。

从工作原理看，光学显微镜利用可见光（400-760nm 波长）的反射或透射成像，通过放大样品的物理形态（如结构、颜色、纹理）呈现细节，其主要是捕捉 “可见形态特征”；而热红外显微镜则聚焦 3-10μm 波长的红外热辐射，通过检测样品自身发射的热量差异生成热分布图，本质是捕捉 “不可见的热信号”。

在主要功能上，光学显微镜擅长观察样品的表面形貌、结构缺陷（如裂纹、变形），适合材料微观结构分析、生物样本观察等；热红外显微镜则专注于微观热行为解析，能识别因电路缺陷、材料热导差异等产生的温度异常，即使是纳米级的微小热点（如半导体芯片的漏电区域）也能精确捕捉，这是光学显微镜无法实现的。

从适用场景来看，光学显微镜是通用型观测工具，广泛应用于基础科研、教学等领域；而热红外显微镜更偏向专业细分场景，尤其在半导体失效分析中，可定位短路、虚焊等隐性缺陷引发的热异常，在新材料研发中能分析不同组分的热传导特性，为解决 “热相关问题” 提供关键依据。 热红外显微镜可用于研究电子元件在不同环境下的热行为 。半导体热红外显微镜方案

致晟光电自主研发的热红外显微镜 Thermal EMMI P系列，是电子工业中不可或缺的精密检测工具，在半导体芯片、先进封装技术、功率电子器件以及印刷电路板（PCB）等领域的失效分析中发挥着举足轻重的作用。

该设备搭载——实时瞬态锁相红外热分析（RTTLIT）系统，并集成高灵敏度红外相机、多倍率可选显微镜镜头、精确高低压源表等技术组件，赋予其三大特性：超凡灵敏度与亚微米级检测精度，可捕捉微弱热信号与光子发射；高精度温度测量能力（锁相灵敏度达0.001℃），支持动态功耗分析；无损故障定位特性，无需破坏器件即可锁定短路、开路等缺陷。凭借技术集成优势，ThermaEMMIP系列不仅能快速定位故障点，更能通过失效分析优化产品质量与可靠性，为半导体制造、先进封装及电子器件研发提供关键技术支撑。 高分辨率热红外显微镜哪家好热红外显微镜在工业生产中，用于在线监测电子器件的热质量 。

近年来，非制冷热红外显微镜价格呈下行趋势。在技术进步层面，国内红外焦平面阵列芯片技术不断突破，像元间距缩小、阵列规模扩大，从早期的 17μm、384×288 发展到如今主流的 12μm 像元，1280 ×1 024、1920 × 1080 阵列规模实现量产，如大立科技等企业推动技术升级，提升生产效率，降低单台设备成本。同时，国产化进程加速，多家本土厂商崛起，如我司推出非制冷型锁相红外显微镜，打破进口垄断格局，市场竞争加剧，促使产品价格更加亲民。

热红外显微镜(Thermal EMMI)的突出优势一：

热红外显微镜（Thermal emmi ）能够检测到极其微弱的热辐射和光发射信号，其灵敏度通常可以达到微瓦甚至纳瓦级别。同时，它还具有高分辨率的特点，能够分辨出微小的热点区域，分辨率可以达到微米甚至纳米级别。具备极高的探测灵敏度，能够捕捉微瓦级甚至纳瓦级的热辐射与光发射信号，适用于识别早期故障及微小异常。同时，该技术具有优异的空间分辨能力，能够准确定位尺寸微小的热点区域，其分辨率可达微米级，部分系统也已经可实现纳米级识别。通过结合热图像与光发射信号分析，热红外显微镜为工程师提供了精细、直观的诊断工具，大幅提升了故障排查与性能评估的效率和准确性。 热红外显微镜通过热辐射相位差算法，三维定位 3D 封装中 Z 轴方向的失效层。

热红外显微镜（Thermal EMMI）技术，作为半导体失效分析领域的关键手段，通过捕捉器件内部产生的热辐射，实现失效点的精细定位。它凭借对微观热信号的高灵敏度探测，成为解析半导体故障的 “火眼金睛”。然而，随着半导体技术不断升级，器件正朝着超精细图案制程与低供电电压方向快速演进：线宽进入纳米级，供电电压降至 1V 以下。这使得失效点（如微小短路、漏电流区域）产生的热量急剧减少，其辐射的红外线信号强度降至传统检测阈值边缘，叠加芯片复杂结构的背景辐射干扰，信号提取难度呈指数级上升。
热红外显微镜帮助工程师分析电子设备过热的根本原因 。科研用热红外显微镜设备

热红外显微镜在电子产品研发阶段，辅助优化热管理方案 。半导体热红外显微镜方案

RTTLIT P10 热红外显微镜在光学配置上的灵活性，可通过多种可选物镜得以充分体现，为不同尺度、不同场景的热分析需求提供精细适配。

Micro 广角镜头擅长捕捉大视野范围的整体热分布，适合快速定位样品宏观热异常区域，如整片晶圆的整体散热趋势观测；0.2X 镜头在保持一定视野的同时提升细节捕捉能力，可用于中等尺寸器件（如传感器模组）的热行为分析，平衡效率与精度；0.4X 镜头进一步聚焦局部，能清晰呈现芯片封装级的热分布特征，助力排查封装缺陷导致的散热不均问题；1X 与 3X 镜头则聚焦微观尺度，1X 镜头可解析芯片内部功能模块的热交互，3X 镜头更是能深入到微米级结构（如晶体管阵列、引线键合点），捕捉纳米级热点的细微温度波动。

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