工业光学检测推荐

半导体行业是光学检测技术应用较前沿、要求较高的领域之一。从晶圆制造过程中的光刻对准、薄膜厚度测量、缺陷检测，到封装环节的引脚检测、键合质量检测、芯片外观检测，几乎每一个生产环节都离不开高精度光学检测技术。随着半导体工艺节点不断推进，对检测精度的要求也从微米级提升到纳米级，这对检测系统中的运动平台提出了较高的要求，不只需要纳米级的定位精度，还需要具备较高的运动平稳性和洁净度适配能力。博源精控的直驱气浮滑台系列采用无接触气浮导轨设计，运行过程中无粉尘产生，良好适配半导体制造的洁净室环境，纳米级的定位精度能够满足先进制程晶圆检测的需求，已经为多家半导体检测设备厂商提供了关键运动平台解决方案。设备具备完善的异常报警功能，可在运行异常时及时提示，减少设备故障停机时间。工业光学检测推荐

光学检测中的光源控制与运动控制的同步是保证成像质量的重要环节，在高速检测过程中，相机曝光时间非常短，如果光源点亮和相机曝光、运动位置不同步，就会出现图像亮度不均、运动模糊、位置不准等问题。高精度光学检测系统通常采用硬件触发的方式，由运动控制器在到达指定位置时输出硬触发信号，同步触发相机曝光和光源点亮，整个过程的时间延迟控制在微秒级。博源精控的运动控制器具备高速位置比较输出功能，能够在运动过程中实时比较位置，在预设位置精确输出触发信号，触发抖动小于1微秒，能够保证相机、光源、运动三者的精确同步，即使在每秒上百帧的高速采集状态下，也能保证每一幅图像都在准确的位置、合适的光照下采集。工业光学检测推荐紧凑型直驱位移台体积小巧，适合集成到桌面型光学检测设备与小型化仪器中。

光学检测系统的振动抑制是一个系统工程，除了使用隔振光学平台隔离外界振动，运动平台自身的振动控制也非常重要。运动平台在高速启停、高速运动过程中会产生冲击振动，这些振动会通过安装面传递到光学系统中，导致成像模糊。博源精控的运动平台采用先进的S曲线加减速算法，避免运动过程中的加速度突变，从源头上减小冲击振动的产生，同时结构设计上采用高刚性、高阻尼的材料和结构，优化运动部件的质量分布，减小运动过程中的振动幅值，配合可选的主动减振安装座，能够将运动产生的振动控制在极低水平，保证高速运动过程中光学系统的成像稳定性，实现高速度与高精度的兼顾。

电动角位台在光学检测系统中承担着角度调整与姿态校准的重要功能。在光学检测过程中，经常需要对检测对象进行角度倾斜调整，以实现不同角度下的缺陷检测、反射率测量、光学参数标定等功能，这就需要高精度的角位台来提供精确的角度运动控制。高精度电动角位台通常采用精密蜗轮蜗杆或者直驱力矩电机驱动，搭配高精度圆光栅作为角度反馈元件，能够实现角秒级的角度定位精度。博源精控的BY05DG15电动角位台采用精密传动结构与高精度角度编码器，角度分辨率可达0.001度，重复定位精度高，承载能力强，可单独使用也可与其他位移台组合成多轴调整系统，广应用于光学元件角度检测、光束角度调整、光学系统标定等场景。光学检测可适应不同材质工件，包括金属、玻璃、塑料、薄膜等多种材料表面检测。

气浮导轨技术在超精密光学检测领域具备具备较高应用价值的优势。对于检测分辨率达到亚微米甚至纳米级的超精密光学检测场景，机械接触式导轨存在的摩擦、磨损、间隙等问题会直接影响检测精度，而气浮导轨通过压缩空气在运动面与导轨面之间形成几微米厚的气膜，实现完全无接触的运动支撑，完全消除了机械摩擦和磨损，运动平稳性和定位精度都达到了较高水平。博源精控的直驱气浮滑台系列采用高精度花岗岩气浮导轨，直线度误差控制在亚微米级，运动过程中无任何机械接触，具备较高的运动平稳性和定位精度，特别适用于激光干涉测量、超精密光学元件表面检测、半导体光刻对准等对运动精度要求较高的光学检测场景。光学检测系统操作界面友好，参数设置简单，可快速完成不同产品的检测切换。工业光学检测推荐

干涉测量技术可实现纳米级面形检测，适用于精密光学镜头的面形精度测量。工业光学检测推荐

光学薄膜的厚度均匀性检测是光学薄膜制造过程中的关键质量控制点，光学薄膜的厚度通常在纳米到微米级，厚度的微小偏差都会影响光学性能。光谱反射式测厚是光学薄膜厚度检测的主流技术，通过测量不同位置的反射光谱拟合计算薄膜厚度，这就需要运动平台带动测厚探头完成薄膜全幅面的扫描测量。薄膜检测通常幅宽较大，需要长行程运动平台，同时要求运动过程中探头与薄膜的距离保持稳定，否则会影响测量精度。博源精控的长行程直驱滑台运动直线度好，Z向高度波动小，能够保证扫描过程中测厚探头的工作距离稳定，实现纳米级分辨率的薄膜厚度均匀性检测，支撑光学薄膜、光伏薄膜、锂电隔膜等各类薄膜产品的质量检测。工业光学检测推荐

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