广东六维光学检测制造商

在精密光学检测中，运动平台的直线度、俯仰、偏摆、滚转等几何误差对检测结果的影响甚至超过定位精度的影响，因为这些角度误差会导致光轴偏移，产生测量误差。比如10角秒的角度误差，在100mm的工作距离下就会产生近5微米的横向位置误差，这对于高精度检测来说是非常大的误差。博源精控的高精度位移台在装配过程中会使用激光干涉仪和电子水平仪对每一台产品的六自由度几何误差进行精密测量和校准，通过精密研磨和装配工艺将各项几何误差控制在极小范围内，直驱滑台的俯仰偏摆角度通常控制在10角秒以内，气浮滑台更是可以控制在2角秒以内，较大程度减小几何误差对光学检测结果的影响。模块化运动平台组合灵活，可快速搭建不同配置的光学检测系统，缩短研发周期。广东六维光学检测制造商

3C电子制造是光学检测技术应用较成熟、渗透率较高的领域之一。手机、电脑、消费电子等产品的零部件尺寸小、精度要求高、生产批量大，几乎所有外观和尺寸检测环节都已经实现了光学检测自动化。手机玻璃盖板检测、PCB板检测、SMT贴片检测、连接器检测、摄像头模组检测等场景，都需要高精度、高速度的光学检测设备。3C电子检测通常行程不大但定位精度要求较高，需要达到亚微米级的定位精度，同时设备体积要求紧凑。博源精控的紧凑型直驱位移台体积小、精度高，采用集成化设计，非常适合3C电子检测设备的小型化需求，能够在有限的安装空间内实现高精度运动，为消费电子制造的质量控制提供关键运动支撑。广东六维光学检测制造商红外光学检测可识别工件内部缺陷，适用于复合材料、半导体材料的无损检测。

平板显示行业是光学检测技术的重要应用领域，随着显示技术从LCD向OLED、Mini/Micro LED不断升级，对检测精度和检测速度的要求也在不断提升。平板显示面板的尺寸越来越大，从早期的几代线发展到现在的10.5代线，玻璃基板尺寸达到3米级别，同时像素密度越来越高，缺陷尺寸越来越小，需要大行程、高精度、高速度的运动平台来带动检测相机完成各个方面板的扫描检测。龙门式运动系统凭借大行程、高刚性、高负载的特点，成为大尺寸面板检测的常用运动方案。博源精控的大理石XY直线电机平移台采用高精度花岗岩基座，直线电机直驱，大行程下依然能够保持微米级的定位精度，高速度运行时平稳无振动，能够满足大尺寸液晶面板、OLED面板的Array、Cell、Module全制程的光学检测需求。

在晶圆光学检测中，晶圆的预对准是检测前的必要步骤，晶圆在传输到检测平台后位置会存在偏差，需要通过边缘检测或者缺口检测确定晶圆的中心位置和角度偏差，然后控制运动平台进行位置补偿，将晶圆准确移动到检测坐标系下。晶圆预对准对运动平台的定位精度和旋转台的角度精度要求很高，需要多轴配合完成位置和角度的校正。博源精控的晶圆检测用运动平台集成了XY高精度平移台和高精度旋转台，能够配合预对准传感器快速完成晶圆的中心和角度校正，校正精度可达亚微米级和角秒级，保证后续整片晶圆扫描检测的位置准确性，支撑半导体晶圆制造过程中的高精度光学检测。旋转台配合直线轴可实现回转体零件全周检测，覆盖轴承、精密轴类等工件检测。

多轴协同运动能力是现代自动化光学检测系统的关键要求。在面对复杂曲面元件、大尺寸面板、晶圆等检测对象时，单一轴的运动已经无法满足全区域覆盖检测的需求，需要X/Y/Z三轴甚至更多旋转轴的协同运动，实现检测探头在三维空间内的精确定位与轨迹扫描。电动三轴龙门探测系统作为光学检测领域的经典运动方案，采用龙门式结构设计，具备负载能力强、运动范围大、定位精度高的特点，能够支持检测探头在三维空间内完成任意轨迹的扫描运动。博源精控的电动三轴龙门探测系统支持X/Y/Z三轴协同运动，采用高精度光栅尺作为位置反馈元件，全闭环控制下可实现微米级的定位精度，运动速度可根据检测需求灵活调节，广应用于平板显示检测、半导体晶圆检测、大尺寸光学元件表面缺陷检测等场景。焊缝光学检测可识别气孔、裂纹、咬边等焊接缺陷，提升焊接结构件可靠性。广东精密气浮光学检测制造商

自动上下料运动系统可实现工件全自动传输检测，减少人工操作，提升检测自动化程度。广东六维光学检测制造商

干涉测量作为光学检测领域精度较高的测量技术之一，能够实现纳米级甚至亚纳米级的测量精度，广应用于光学元件面形检测、精密位移校准、长度计量等场景。干涉测量对环境振动和空气扰动极为敏感，微小的振动就会导致干涉条纹模糊，无法进行稳定测量，因此不只需要高精度的隔振平台，还需要运动过程中极其平稳的调整机构。博源精控的隔振光学平台固有频率低于2Hz，能够有效隔离地面振动，配合高精度电动调整架，能够实现干涉仪光路的精确对准和被测件的精密调整，保证干涉测量的稳定性和准确性，为光学计量实验室、光学元件制造企业提供高精度的测量基础平台。广东六维光学检测制造商

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