北京电动微米纳米光学检测

在光学检测系统的搭建过程中，光学调整架是必不可少的基础组件，用于反射镜、透镜、滤光片等光学元件的位置和角度调整。高精度光学调整架通常采用细牙螺纹或者微分头驱动，配合精密球铰结构，能够实现角秒级的角度调整分辨率，调整后锁紧稳定，不会发生位置漂移。虽然博源精控以精密位移台为关键产品，但在为客户提供完整光学检测运动解决方案时，也会配套提供各类高精度光学调整架、光学安装支架、光机组件，帮助客户快速搭建稳定可靠的光学检测光路，减少客户的选型和集成成本，提供从运动平台到光机组件的一站式解决方案。多轴协同运动系统支持检测探头在三维空间移动，可覆盖复杂工件的全部检测区域。北京电动微米纳米光学检测

真空环境下的光学检测是航天、半导体、先进科研领域的特殊需求，比如真空紫外检测、电子束检测、太空环境模拟检测等场景，都需要在真空腔体中进行光学检测，这就要求运动平台能够在真空环境下稳定工作。真空中使用的运动平台需要解决真空放气、真空润滑、电机真空兼容、真空出线等一系列特殊问题，普通商用位移台无法直接在真空中使用。博源精控具备真空环境运动平台的定制能力，采用真空兼容材料、真空用润滑脂、真空电机、真空密封出线等特殊设计，可提供适配10^-7Pa高真空环境的位移台产品，满足真空光学检测、真空镀膜在线检测等特殊场景的需求。小型光学检测供应商机器视觉光学检测可快速识别工件表面划痕、麻点、色差等缺陷，替代人工目检提升效率。

在线光学检测是现代智能制造生产线的关键组成部分，与实验室离线检测不同，在线检测需要与生产线节拍完全匹配，24小时连续稳定运行，对设备的可靠性、稳定性、维护性提出了较高要求。在线检测的运动平台需要具备较高的平均无故障时间，能够在工业车间的恶劣环境下长期稳定运行，同时还要具备快速维护、快速更换的设计。博源精控的工业级直驱运动平台采用高可靠性设计，关键部件均选用工业级长寿命产品，IP防护等级可根据需求定制，能够适应车间的粉尘、油污、温湿度变化等环境，7×24小时连续运行稳定可靠，已经在多条新能源、3C、汽车制造产线的在线检测工位得到了批量应用。

在精密光学检测中，运动平台的直线度、俯仰、偏摆、滚转等几何误差对检测结果的影响甚至超过定位精度的影响，因为这些角度误差会导致光轴偏移，产生测量误差。比如10角秒的角度误差，在100mm的工作距离下就会产生近5微米的横向位置误差，这对于高精度检测来说是非常大的误差。博源精控的高精度位移台在装配过程中会使用激光干涉仪和电子水平仪对每一台产品的六自由度几何误差进行精密测量和校准，通过精密研磨和装配工艺将各项几何误差控制在极小范围内，直驱滑台的俯仰偏摆角度通常控制在10角秒以内，气浮滑台更是可以控制在2角秒以内，较大程度减小几何误差对光学检测结果的影响。直线电机直驱位移台取消中间传动环节，运动响应速度快，可满足光学检测高速扫描需求。

激光检测技术是光学检测领域的高精度测量分支，具备测量精度高、测量速度快、非接触等明显优势。激光三角测距、激光共聚焦测量、激光干涉测量、激光散斑检测等技术，能够实现从微米级到纳米级的测量精度，广应用于精密元件的尺寸测量、表面形貌测量、振动测量、位移测量等场景。激光检测对运动平台的稳定性和定位精度要求较高，因为激光光斑的尺寸通常只有几微米，微小的振动或者位置偏差都会导致测量数据出现较大误差。博源精控的气浮直驱滑台、隔振光学平台产品，能够为激光检测系统提供超高稳定性的运动和支撑基础，运动过程中的角度偏差控制在角秒级，配合高精度激光测量头，可实现纳米级的表面形貌测量，广应用于精密轴承、光学镜片、半导体晶圆等元件的高精度检测。视觉定位系统可引导运动平台自动修正位置偏差，实现工件的准确对位检测。东莞精密定制光学检测推荐

半导体晶圆光学检测可识别纳米级工艺缺陷，助力芯片制造过程的质量管控。北京电动微米纳米光学检测

光学相干断层扫描（OCT）技术作为一种高分辨率的三维成像技术，在眼科医疗、工业无损检测等领域得到了广应用。OCT技术能够实现微米级的纵向分辨率，对生物组织和工业材料内部进行断层成像，检测过程中需要高精度的横向扫描运动和参考臂光程调整运动。OCT系统的扫描振镜虽然能够实现高速横向扫描，但对于大样本或者大视场检测，仍然需要高精度的XY位移台来实现样本的步进扫描，拼接得到大视场的三维图像。博源精控的高精度电动位移台定位精度高，步进准确，能够实现大样本的序列扫描拼接，配合OCT系统获得大视场高分辨率的三维断层图像，支撑OCT技术在更多工业和医疗场景的应用。北京电动微米纳米光学检测

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